廢氣凈化處理設(shè)備放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到降解污染物的目的。

廢氣凈化處理設(shè)備 廢氣處理中洗滌系統(tǒng)用來和廢氣在洗滌塔內(nèi)進行預處理化學反應，去處粉塵且通過化學反應后的氣體達到廢氣一級凈化處理，具體包括填料、噴淋裝置、脫水層、風機、加藥系統(tǒng)等,低溫等離子凈化器內(nèi)部裝有*的碰吸單元，截留去除廢氣中的顆粒物質(zhì)，廢氣收集系統(tǒng)收集的多元素氣體經(jīng)過等離子活性氧凈化裝置，

氣體收集系統(tǒng);預處理噴淋洗滌系統(tǒng);低溫等離子凈化系統(tǒng);深度氣體吸附催化系統(tǒng);排放系統(tǒng);控制系統(tǒng)氣體收集系統(tǒng)主要是將構(gòu)筑物自由揮發(fā)的氣體收集起來并輸送到后續(xù)處理系統(tǒng)。具體包括氣罩系統(tǒng)、管道輸送系統(tǒng)和風機,本工藝有3至9個微波激發(fā)單位，根據(jù)被處理風量的不同數(shù)量不同，微波由于它的頻率相對比較高，在納秒的時間內(nèi)有效作用于被處理空間（區(qū)域），由于微波的功率相對較小，因此在激發(fā)能力上也就是說電子的獲能躍遷能力上有限，本設(shè)計只是把微波作為初頻激發(fā)源，在處理過程中作為一種預激發(fā)能。

  進口材料制造：行成本低：本設(shè)備無機械動作，無噪音，無需專人管理和日常維護，只需作定期檢查，本設(shè)備能耗低，設(shè)備風阻極低＜50pa，可節(jié)約大量排風動力能耗。防水、防火、防腐蝕，使用壽命長。由于微波的預激功能，*的提高等離子體區(qū)，極板區(qū)的激發(fā)能力和處理效果，由于微波技術(shù)的運用，本工藝在同類設(shè)備的比較中顯得設(shè)備精煉而效果*。