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廣電計量檢測集團股份有限公司

Bruker DektakXTL臺階儀

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱亞科電子(包括亞科電子(香港)有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等)
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2021/6/30 8:29:49
  • 訪問次數(shù)458
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亞科電子(包括亞科電子(香港)有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等)成立于1998年,公司自成立以來就一直專注于半導體、微組裝和電子裝配等領(lǐng)域的設(shè)備集成和技術(shù)服務(wù);目前公司擁有一支在半導體制造、微組裝及電子裝配等領(lǐng)域經(jīng)驗豐富的專業(yè)技術(shù)團隊,專業(yè)服務(wù)于混合電路、光電模塊、MEMS、*封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領(lǐng)域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設(shè)備,還能根據(jù)客戶的實際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案?! ∧壳皝喛齐娮右雅c眾多微電子封裝和半導體制造設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供*的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅實基礎(chǔ)。   亞科電子目前客戶遍及國內(nèi)所有科研院所、高校和研發(fā)制造企業(yè),已成功地服等各研究所;清華大學、北京大學、復旦大學等各大高校;三安集成、華潤微電子等多個制造企業(yè)。   亞科電子歷年來秉承“專業(yè)服務(wù),全面服務(wù)”的宗旨,為客戶提供整套技術(shù)工藝和設(shè)備方案。通過專業(yè)的技術(shù)服務(wù),實現(xiàn)了真正意義上的交鑰匙工程。高性能的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)是我們成功的基石,亞科電子期待與更多國內(nèi)外客戶的合作。
表面處理儀 X射線衍射儀
Bruker DektakXTL臺階儀
Bruker DektakXTL臺階儀 產(chǎn)品信息
【產(chǎn)品簡介】
 
布魯克公司的新型 Dektak XTL ™探針式輪廓儀系統(tǒng)可容納多達 350 毫米 x350 毫米的樣品,將優(yōu)異的重復性應用到大尺寸晶片及面板制造業(yè)。Dektak XTL 集成氣體隔震裝置和方便的交互鎖裝置使儀器在全封閉工作環(huán)境下運行,可應對復雜的生產(chǎn)環(huán)境。它的雙攝像頭設(shè)置和高水平自動化功能可限度提高生產(chǎn)量。布魯克公司*的具有圖形識別功能的 Vision64® 軟件以及自動化生產(chǎn)接口,可滿足 IC 級用戶需求,使數(shù)據(jù)采集成為一個自動化的過程,限度地降低操作員的變化帶來的影響。
 
【主要應用】
 
1、 主要用于膜厚、應力、表面粗糙度和表面形貌的測量,實現(xiàn)納米尺度的表面輪廓測量;
2、 廣泛應用于半導體器件、MEMS、金屬鍍層、油漆鍍層、玻璃鍍膜、太陽能、LED、觸摸屏、醫(yī)療等領(lǐng)域。
 
【主要參數(shù)】
 

垂直量程

1mm

垂直分辨率

0.1nm

單次掃描長度

55mm ( 300mm)

樣品高度

50mm

樣品臺尺寸

300mmX300mm (自動) 350mmX350mm(自動)

樣品臺旋轉(zhuǎn)

兩點定位 360 度連續(xù)旋轉(zhuǎn)

臺階測試精度

<4?( 1sigma on 1μm step)

觀察系統(tǒng)

雙鏡頭設(shè)置

 

15168338725
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