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廣電計(jì)量檢測集團(tuán)股份有限公司

立式PECVD設(shè)備

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱鄭州諾泰科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2022/8/28 9:57:51
  • 訪問次數(shù)462
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鄭州諾泰科技有限公司是一家專業(yè)從事熱處理產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。產(chǎn)品涵蓋箱式爐,管式爐,真空爐,加熱爐,真空燒結(jié)爐,高溫爐,馬弗爐,快速退火爐,PECVD系統(tǒng),氣氛爐等。產(chǎn)品遠(yuǎn)銷到三十多個國家和地區(qū)。
立式PECVD系統(tǒng),由真空立式管式爐、射頻電源、供氣系統(tǒng)、石英真空室、真空測量系統(tǒng)組成。
立式PECVD設(shè)備 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品概述:
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜,此立式PECVD設(shè)備真空立式管式爐、射頻電源、供氣系統(tǒng)、石英真空室、真空測量系統(tǒng)組成。

 

PECVD系統(tǒng)配置:

1.1200度開啟式滑動單溫區(qū)真空管式爐

2.等離子射頻電源

3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

4.真空系統(tǒng)
 

 

產(chǎn)品特性:

立式PECVD設(shè)備溫度范圍寬;濺射區(qū)域長;整管可調(diào);精致小巧,性價比高,可實(shí)現(xiàn)快速升降溫,是實(shí)驗(yàn)室生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復(fù)合薄膜等的理想選擇。立式PECVD系統(tǒng)以含鉬電阻絲為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表,移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。


 

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