成儀PECVD系統(tǒng)(PE-12100C)
PECVD系統(tǒng)就是為了使傳統(tǒng)的化學(xué)氣象沉積（CVD）反應(yīng)溫度降低，在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應(yīng)裝置將反應(yīng)氣體電離，形成等離子體，利用等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng)，所以這個(gè)系統(tǒng)稱(chēng)為增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）。
該型號(hào)PECVD為成儀款，綜合了國(guó)內(nèi)大多數(shù)廠(chǎng)家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)，在PECVD前端加入了氣體預(yù)熱區(qū)，實(shí)驗(yàn)證明此結(jié)構(gòu)沉積速度快，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂。而且控制部分采用了成儀自主研發(fā)的實(shí)驗(yàn)電爐AIO全自動(dòng)智能控制系統(tǒng)，使得操作更加簡(jiǎn)便，功能更加強(qiáng)大。
主要特點(diǎn)：
1. 氣體預(yù)熱——增加前端氣體預(yù)熱區(qū)，沉積速度更快，成膜效果更好；
2. AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個(gè)7英寸觸摸屏進(jìn)行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控，協(xié)調(diào)控制——成儀AIO控制系統(tǒng)；
3. 管內(nèi)壓力自動(dòng)平衡——管內(nèi)壓力實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，自動(dòng)平衡管內(nèi)壓力。
4. 智能氣路通斷——每路氣體均可定時(shí)通斷，省時(shí)省力；
5. 射頻功率和開(kāi)關(guān)定時(shí)控制——預(yù)先設(shè)定好功率的大小和打開(kāi)與關(guān)閉的時(shí)間，自動(dòng)運(yùn)行；
6. 爐膛移動(dòng)速度可調(diào)——根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求，用戶(hù)可設(shè)定爐膛左右移動(dòng)的速度可距離；
7. 整機(jī)結(jié)構(gòu)融為一體——移動(dòng)方便，避免分散組裝的困擾。
詳細(xì)參數(shù)：
加熱爐部分 | ||
1 | 爐膛模式 | 開(kāi)啟式爐膛 |
2 | 顯示模式 | 7英寸觸摸屏 |
3 | 極限溫度 | 1400℃ |
4 | 工作溫度 | ≤1350℃ |
5 | 升溫速率 | 建議10℃/Min Max：30℃/Min |
6 | 加熱溫區(qū) | 3溫區(qū) |
7 | 單溫區(qū)長(zhǎng)度 | 150 mm |
8 | 爐管規(guī)格 | 100*2000 mm |
9 | 控溫精度 | ±1℃ |
10 | 密封方式 | 快速法蘭密封 |
11 | 溫度曲線(xiàn) | 30段"時(shí)間—溫度曲線(xiàn)"任意可設(shè) |
12 | 預(yù)存曲線(xiàn) | 可預(yù)存15條溫度曲線(xiàn) |
13 | 超溫報(bào)警 | 有 |
14 | 過(guò)流保護(hù) | 有 |
15 | 斷偶提示 | 有 |
16 | 測(cè)溫元件 | s型熱電偶 |
17 | 爐膛材料 | 氧化鋁纖維 |
18 | 外形尺寸 | 2600*860*1400MM |
射頻電源功率 | ||
1 | 信號(hào)頻率 | 13.56 MHz±0.005% |
2 | 功率輸出范圍 | 5W-300W |
3 | 功率穩(wěn)定度 | ±0.1% |
4 | 諧波分量 | ≤-50dbc |
5 | 供電電壓 | 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
6 | 整機(jī)效率 | >=70% |
7 | 功率因素 | >=90% |
8 | 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
9 | 真空部分 | |
10 | 工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
11 | 功率 | 500W |
12 | 抽氣速率 | 4Ls |
13 | 進(jìn)氣口口徑 | KF25 |
14 | 排氣口口徑 | KF25 |
15 | 轉(zhuǎn)速 | 1450rpm |
16 | 噪音 | 55dB |
17 | 極限真空 | 4X10-2Pa |
氣路系統(tǒng) | ||
1 | 1,2氣路采用DB07K系列 | |
準(zhǔn)確度：±1.5% | ||
重復(fù)精度：±0.2% | ||
響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec | ||
工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa | ||
2 | 3路采用高精度CS200系列 | |
準(zhǔn)確度：±0.35%FS ±1.0%SP | ||
線(xiàn)性：±0.5%FS | ||
重復(fù)精度：±0.2%FS | ||
響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1Sec | ||
整機(jī)系統(tǒng)特色 | ||
1 | 正壓測(cè)量 | -100Kpa---100Kpa |
2 | 真空測(cè)量 | 10-2Pa ～100Kpa（支持Ar測(cè)量） |
3 | 正壓保護(hù) | 支持 |
4 | 壓力恒定 | 支持 |
5 | 智能氣路 | 支持 |
6 | 氣路定時(shí) | 支持 |
7 | 射頻工作時(shí)間設(shè)定 | 支持 |
8 | 移動(dòng)速度調(diào)節(jié) | 支持 |
9 | 系統(tǒng)真空度 | 4.8×10-3Pa |
