The Hysitron PI 89 掃描電鏡聯(lián)用納米壓痕儀利用掃描電子顯微鏡（SEM、FIB/SEM）的成像能力，可以在成像的同時進行定量納米力學測試。這套全新系統(tǒng)搭載 Bruker 的電容傳感技術，繼承了市場的批商業(yè)化原位 SEM 納米力學平臺的優(yōu)良功能。該系統(tǒng)可實現(xiàn)包括納米壓痕、拉伸、微柱壓縮、微球壓縮、懸臂彎曲、斷裂、疲勞、動態(tài)測試和力學性能成像等功能。
控制和性能
具有固有的位移控制，位移范圍從<1nm to 150µm，業(yè)界的力范圍從<1µN to 3.5N，和78kHz的反饋速率和39kHz的數(shù)據(jù)采集速率，從而記錄各種瞬態(tài)事件。
Hysitron PI 89的緊湊設計允許的樣品臺傾斜，以及測試時成像的最小工作距離。PI 89為研究者提供了比競爭產品更廣闊的適用性和性能：
- 重新設計的結構增加適用性和易用性
- 1 nm精度的線性編碼器實現(xiàn)更大范圍下更好的自動測試定位重復性
- 更高的框架剛度(~0.9 x 106 N/m)提供測試過程更好的穩(wěn)定性
- 兩種旋轉/傾斜模式實現(xiàn)城鄉(xiāng)、FIB加工、以及各種探測器的聯(lián)用，包括EDS, CBD, EBSD, and TKD等。
