伊親水處理設(shè)備在硅片切割液回收利用上技術(shù)非常，太陽(yáng)能硅片切割液廢砂漿是切割液(PEG)和砂漿的混合物，浩中依靠離心和沉降兩種回收技術(shù)，對(duì)廢砂漿進(jìn)行 處理，回收其中的切割液和碳化硅微粉，返回到太陽(yáng)能線切割機(jī)重新使用。

　　目前，國(guó)內(nèi)使用的切割液和碳化硅微粉在線切割過(guò)程中，砂漿中不可避免的會(huì)混入硅粉、鐵、高聚物等雜質(zhì)，部分碳化硅微粉也會(huì)因切割作用而出現(xiàn)破損，產(chǎn)生的廢砂漿很難繼續(xù)使用。浩中水處理利用沉降離心、化學(xué)清洗、絮凝過(guò)濾、精餾、萃取、旋風(fēng)分級(jí)等分離原理和方法，將廢砂漿中雜質(zhì)和水分去除，得到優(yōu)質(zhì)合格的切割液和碳化硅微粉，從而實(shí)現(xiàn)二次利用。液體回收過(guò)程主要利用物理作用將其中的固體微粒去除，不增加任何可溶性雜質(zhì)。得到的液體才能夠保證原有的化學(xué)成分，具有與新切割液相同的表面活性、懸浮力和攜帶力，可多次重復(fù)使用。

　　在碳化硅微粉回收時(shí)，除了利用物理作用將其中的細(xì)顆粒去除外，還必須利用多種化學(xué)作用將其中的硅粉、鐵、膠粒去除，這樣才能保證得到的碳化硅微粉具有原砂漿中碳化硅微粉同樣的品質(zhì)。且回收過(guò)程不增加任何微粉顆粒，而切割過(guò)程會(huì)使大的顆粒變細(xì)，因此回收到的微粉沒(méi)有大顆粒，不會(huì)在以后使用過(guò)程中產(chǎn)生劃傷硅片的現(xiàn)象。

　　由于在這類回收物料的使用工藝中，所涉及物料如：切割液(回收液)、碳化硅(回收的碳化硅)、清洗劑、水等，從而可能引起污片的情況有： 1、回收液回收質(zhì)量差;2、回收的碳化硅中含有游離碳;3、清洗劑效果不好;4、清洗工序時(shí)間安排不合理等。