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廣電計量檢測集團股份有限公司

反射式光譜橢偏儀

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱孚光精儀公司
  • 品       牌
  • 型       號FPANG-SE20
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/12/4 17:05:42
  • 訪問次數(shù)321
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孚光精儀公司品牌源于早期的東歐地區(qū)和德國進口光學材料和儀器的進口服務。公司創(chuàng)始股東們足跡遍布捷克,愛沙尼亞,羅馬尼亞,白俄羅斯,立陶宛,法國,英國,意大利,奧地利,丹麥,比利時,以及德國 漢堡,法蘭克福,柏林,慕尼黑,紐倫堡,德累斯頓等科技強國和強市,對整個歐洲特別是東歐和德國的技術產(chǎn)品和精密儀器的質量有可靠的把握。長期以來,德國在科學研究、技術創(chuàng)新和儀器研發(fā)領域具有的優(yōu)勢。德國的科學儀器以技術*,質量可靠而著稱。孚光精儀早期專注于選擇德國和東歐國家可靠的供應商,為用戶提供了道質量保障。公司派送員工前往原廠進行技術培訓,從而具備為遠東地區(qū)用戶提供快速高效的技術服務能力,這一舉措深得用戶和制造商的高度贊譽。因此,孚光精儀的事業(yè)在服務客戶的同時獲得超常發(fā)展,快速成長為*儀器的規(guī)模型供應商和技術服務商。目前,孚光精儀已經(jīng)把產(chǎn)品原產(chǎn)地擴展到整個歐洲和美國,形成了以歐洲和美國為供貨來源地的良好局面。
這款反射式光譜橢偏儀MSP具有250-1000nm的波長范圍,可與顯微分光光度計聯(lián)合使用,測量極小斑點的薄膜厚度和折射率,可廣泛用于MEMS,半導體晶圓等領域,是反射光譜橢偏儀品牌中光譜橢偏儀價格較低的橢偏儀
反射式光譜橢偏儀 產(chǎn)品信息
這款反射式光譜橢偏儀MSP具有250-1000nm的波長范圍,可與顯微分光光度計聯(lián)合使用,測量極小斑點的薄膜厚度和折射率,可廣泛用于MEMS,半導體晶圓等領域,是反射光譜橢偏儀品牌中光譜橢偏儀價格較低的橢偏儀。

spectroscopic ellipsometer,從深紫外到可見光再到近紅外.深紫外波長非常適合測量超薄薄膜,比如納米厚度薄膜厚度,比如硅晶圓的薄膜厚度,典型值在2nm左右。對于測量許多材料的帶隙,深紫外光譜橢偏儀也非常重要。

橢圓偏振技術是通過研究光束在樣本表面反射后偏振態(tài)變化而獲得表面薄膜厚度等信息的薄膜測量技術。
與反射計或反射光譜技術不同的是,光譜橢偏儀參數(shù)Psi 和Del并非在常見入射角下獲得。通過改變入射角大小,可獲得許多組數(shù)據(jù),這樣就非常有助于優(yōu)化橢偏儀測量薄膜或樣本表面的能力,因此變角橢偏儀功能遠遠大于固定角橢偏儀。
改變橢偏儀入射角的方法有兩種,一種是手動調節(jié),一種是自動調節(jié)入射角,我們可提供兩種模式的橢偏儀。

反射式光譜橢偏儀MSP特色
易于安裝,拆卸和維護
*的光學設計
自動改變入射角,入射角分辨率高達0.01度
高功率250-1100nm光源適合多種應用
采用陣列探測器確保高速測量
測量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率
可用于實或在線監(jiān)測薄膜厚度和折射率
具有齊全的光學常數(shù)數(shù)據(jù)庫
提供工程師模式,服務模式和用戶模式三種使用模式
靈活的工程師模式用于各種安裝設置和光學模型測量
一鍵快速測量
全自動標定和初始化
精密樣品準直界面直接樣品準直,不需要額外光學
精密高度和傾斜調整
適合不同材料和不同后的樣品襯底基片
2D和3D數(shù)據(jù)顯示輸出



反射式光譜橢偏儀MSP參數(shù)
波長范圍:250-1000nm, 與顯微分光光度計聯(lián)合使用時400-850nm
波長分辨率:~1nm
測量點大?。?-5mm可調
入射角:10-90度可調
入射角分辨率:0.01度
數(shù)字成像:130萬像素
有效放大倍數(shù):1200X
物鏡工作距離:12mm
顯微分光光度計光束大?。?10-500微米可調
可測樣品大小:高達300mm 直徑
可測樣品厚度:高達20mm
測量薄膜厚度:0nm ---10um
測量時間:~1s/點
精度:~0.25%
重復精度:<1A
反射式光譜橢偏儀MSP可選配件
反射或透射光度測量配件
微點測量小面積
X-Y位移臺用于厚度繪圖
加熱臺/制冷臺用于薄膜動力學研究
垂直樣品安裝測角計
波長拓寬到IR范圍
掃描單色儀配置
15700106413
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