變螺距干式螺桿真空泵
變螺距螺桿真空泵的特點(diǎn)
極限真空
的間隙設(shè)計(jì)和連續(xù)的壓縮方式，單泵就可達(dá)到0.0075torr（1pa）的極限真空。
耐腐蝕
使用有耐腐蝕的性涂層材料。通過氣鎮(zhèn)閥裝置降低腐蝕性氣體的分壓力，可防止腐蝕性氣體凝結(jié)在泵腔內(nèi)，進(jìn)一步提高耐腐蝕能力。
冷卻效果
采用符合流體動(dòng)力學(xué)的螺旋形冷卻水套，熱交換效率優(yōu)秀。泵內(nèi)部維持合理的較低的溫度，所以涂層損傷很低。
節(jié)能
變螺距螺桿的節(jié)能型設(shè)計(jì)，可降低30%的電力消耗。無需把冷卻氣體供應(yīng)到泵的內(nèi)部。
可靠的密封結(jié)構(gòu)
唇形密封和機(jī)械密封加上氣體密封，形成三重密封結(jié)構(gòu)。安裝專為干式真空泵設(shè)計(jì)的高性能機(jī)械密封。
優(yōu)異的適當(dāng)加壓的氣體密封裝置，進(jìn)一步提高了齒輪油和被抽流程氣體之間的密封性。
流暢的排出構(gòu)造
迅速的排氣構(gòu)造。液體處理能力優(yōu)秀。排出氣體的脈動(dòng)減少。
氣鎮(zhèn)閥裝置的安裝
防止強(qiáng)腐蝕性氣體的凝結(jié)。降低易爆氣體的分壓力。
齒輪油冷卻水套
保持較低的油溫。防止因齒輪油高溫高壓產(chǎn)生漏油現(xiàn)象。防止因高溫帶來的齒輪油性能降低。
螺旋式夾套冷卻系統(tǒng)
采用符合流體動(dòng)力學(xué)的螺旋形冷卻水套，熱交換效率優(yōu)秀。無需把冷卻氣體供應(yīng)到泵的內(nèi)部。標(biāo)準(zhǔn)為直冷設(shè)計(jì)外部冷卻器作為選項(xiàng)
噪音和振動(dòng)
噪音(Noise),60Hz : 小于 82dB, 85dB ,50Hz : 小于 79dB, 82dB,
振動(dòng)(Vibration)
RMD150, RMD300, RMD400 : 小于 1.8mm/s,
RMD800 : 小于 2.8mm/s
RMD1500 : 小于 2.8mm/s
(基于ISO2372 : 4.5 mm/s)
技術(shù)數(shù)據(jù)
外形尺寸表
