住友的潔凈臭氧水制造設(shè)備是將潔凈臭氧發(fā)生器產(chǎn)生的臭氧氣體溶解于超純水中，生成臭氧水的裝置。
限度地抑制微粒子和金屬污染的溶出，在半導(dǎo)體、液晶等電子設(shè)備材料的制造過程中，用于去除有機(jī)物、表面改性等用途，得到眾多客戶的高度評價評價。。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體
各種晶圓
FPD（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）
光罩
硬盤
SGX-1G21SNC規(guī)格
臭氧水濃度：5至100ppm
臭氧水流量：1 至 120 升/分鐘
臭氧水供給壓力：max.0.25MPa
原料氣：氧氣，（二氧化碳作為濃度衰減的對策）
電源：AC200V 三相
SGX-1B11SN規(guī)格
臭氧水濃度 5至150ppm
臭氧水流量 1 至 90 升/分鐘
原料氣 氧氣，（二氧化碳作為濃度衰減的對策）
電源
AC200V 三相
SGXG
規(guī)格
臭氧水濃度：5-30ppm
臭氧水流量：1 至 60 升/分鐘
原料氣：氧氣（二氧化碳作為濃度衰減的對策）
電源：AC200V 三相
特征
能夠處理高濃度和大流量
占地面積小，結(jié)構(gòu)緊湊
低廉的運(yùn)行成本（低功耗、更換部件少、放電電池壽命長）
高耐壓、長壽命的高可靠性放電電池
快速啟動和出色的集中響應(yīng)能力
通過連接臭氧濃度計（反饋控制）實(shí)現(xiàn)出色的濃度穩(wěn)定性
CE/NRTL 認(rèn)證，符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)
停機(jī)時無需維護(hù)
也可提供不含硝酸的臭氧水
Q：超聲臭氧強(qiáng)化處理高濃度有機(jī)廢水研究
A：超聲臭氧強(qiáng)化處理高濃度有機(jī)廢水研究 本文主要研究了超聲臭氧處理高濃度有機(jī)廢水的可行性；
Q：高效臭氧溶氣裝置介紹
A：高效臭氧溶氣裝置 一） 、臭氧溶解效率 臭氧溶解效率（O3）=臭氧溶解量/臭氧投加量，是影響；
Q：臭氧發(fā)生器進(jìn)氣(空氣或氧氣)流量測量單位
A：臭氧發(fā)生器進(jìn)氣(空氣或氧氣)流量測量單位 LPM=升每分鐘 通過臭氧發(fā)生器的原料氣流量的計量測；
Q：臭氧濃度單位有哪些
A：臭氧濃度單位有哪些 臭氧濃度單位有哪些，有什么區(qū)別呢？ wt% =重量百分比 指在給定體積中臭；
Q：高級氧化技術(shù)應(yīng)用范圍
A：高級氧化技術(shù)應(yīng)用范圍 現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展，導(dǎo)致進(jìn)入水體中的有機(jī)物數(shù)量和種類急劇增加，水體；
Q：OXYCYCLE™氧氣回收裝置介紹
A：OXYCYCLE氧氣回收裝置介紹 使臭氧生產(chǎn)達(dá)到新的效率水平。 當(dāng)你能回收氧氣時，為什么要浪費(fèi)；
Q：廢水臭氧氧化處理法用途和優(yōu)缺點(diǎn)
A：臭氧氧化法主要用于： ①水的消毒：臭氧是一種廣譜速效殺菌劑，對各種致病菌及抵抗力較強(qiáng)；
Q：臭氧氧化法發(fā)生器濃度、產(chǎn)量、電耗測量
A：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了臭氧氧化法發(fā)生器的臭氧濃度，產(chǎn)量和電耗的測定及計算方法。并且適用于以電；
Q：評價臭氧氧化對的效價削減效果研究
A：評價臭氧氧化對的效價削減效果研究 中國是世界上大的抗生素生產(chǎn)國，是、四；
Q：臭氧氧化印染工業(yè)園廢水影響因素研究
A：臭氧氧化印染工業(yè)園廢水影響因素研究 印染廢水具有污染物成分復(fù)雜、高色度、高濁度、高；
Q：不同晶體結(jié)構(gòu)二氧化錳上氣態(tài)臭氧的催化分解
A：臭氧是一種普遍存在的污染物，二氧化錳(MnO2)被廣泛用于臭氧的分解。然而，二氧化錳結(jié)構(gòu)對；
Q：臭氧與過氧化鈣(O3/CaO2)降解甲基紅染料廢水研究
A：紡織品印染廢水排放量大,組成復(fù)雜,污染物濃度高,其中含有大量結(jié)構(gòu)復(fù)雜的染料和化合物[1].色；
Q：影響臭氧水浸泡法去除農(nóng)殘效果的因素
A：影響臭氧水浸泡法去除農(nóng)殘效果的因素 4.2.1 臭氧水濃度 一般來說臭氧水濃度增大可以增大農(nóng)藥；
Q：多相臭氧催化氧化對某染料廢水生化出水效果實(shí)驗(yàn)研究
A：多相臭氧催化氧化對某染料廢水生化出水效果實(shí)驗(yàn)研究 染料廢水成分復(fù)雜,含多種難降解有機(jī)物；
Q：臭氧與多種煙氣污染物的反應(yīng)動力學(xué)機(jī)理研究
A：臭氧與多種煙氣污染物的反應(yīng)動力學(xué)機(jī)理研究 邵嘉銘1，王智化1，林法偉2，唐海榮1，許巖韋；
Q：臭氧投加速率對苯胺降解的影響
A：臭氧投加速率對苯胺降解的影響 廢水中含有苯胺，且其質(zhì)量濃度為25,mg/L 左右，為保證其排放；
