simco日本思美高進(jìn)口5225 型AeroBar棒式離子發(fā)生器
日本思美高靜電測試儀5225S AeroBar 型用于超潔凈獨(dú)立安裝
■單晶硅電極在范圍內(nèi)擁有的
采用記錄，由于其超低顆粒特性和電極材料，避免了金屬污染的風(fēng)險
。
通過安裝 5200-SR 外部電極靜電消除目標(biāo)附近的傳感器（選件），可以對靜電消除目標(biāo)附近的離子平衡進(jìn)行反饋控制，而不是離子發(fā)生器本身（連接5200-SR）如果沒有，離子發(fā)生器內(nèi)置的傳感器會自動調(diào)整離子平衡.)
■根據(jù)半導(dǎo)體前端工藝的EFEM設(shè)定棒的長度
■離子發(fā)生輸出、離子發(fā)生時間、警報閾值等 參數(shù)范圍廣 通過使用 進(jìn)行設(shè)定，可以靈活應(yīng)對適用于遠(yuǎn)距離應(yīng)用和弱氣流環(huán)境
■只需通過數(shù)字輸入?yún)?shù)即可獲得高再現(xiàn)性，并且可在短時間內(nèi)完成設(shè)置
■除了簡單的報警 IO 外，還可以使用提供的 DLL 進(jìn)行實時監(jiān)控免費(fèi)，有助于掌握工藝設(shè)備內(nèi)部狀態(tài)。
| 輸入電壓 | 24V AC，50/60Hz，1W（典型值）由 IM6T 提供。 |
|---|---|
| 溝通形式 | RS485（IM6T 和 5225 之間） |
| 輸出電壓 | 0kv 至約+/-20kv |
| 輸出形式 | 脈沖直流模式、穩(wěn)態(tài)直流模式（可選） |
| 輸出電流 | 內(nèi)置<15microA電流和電壓限制電路 |
| 連接接頭 | RJ11，4極4芯 |
| 離子發(fā)生時間 | 小0.1秒，10秒 可分別設(shè)置正負(fù) |
| 電極 | 單晶硅電極可更換 |
| 臭氧產(chǎn)生量 | <0.005ppm（24小時積分測量） |
| 相應(yīng)潔凈度 | ISO 1 級，0.1 微米 |
| 尺寸 | 高 53 毫米 x 深 31 毫米 x 長 569 毫米 (-22)、721 毫米(-28)、 907毫米(-36)、1128毫米(-44)、1412毫米(-56)、1636毫米(-64)、 1918 毫米 (-76) 和 2144 毫米 (-84) |
| 重量 | -22：每增加長度1.02kg 0.17kg/30cm |
| 外部的 | ABS樹脂 |
接口模塊型號 5200-IM6T
| 輸入電壓 | 24V 直流+/-5%，1.5A |
|---|---|
| 溝通形式 | 以太網(wǎng)、RS232C |
| 報警輸出 | 繼電器觸點（ V4.0 及更高版本） |
| 尺寸 | 高 74 毫米 x 深 71 毫米 x 長 315 毫米 |
| 重量 | 2公斤 |
