微型多通信紫外-近紅外光譜儀
VS70-MC（多通信）是一種高性能緊湊型光纖耦合光譜儀系統(tǒng)，覆蓋 200 至 910 nm 的寬光譜范圍。
這種 OEM 光學(xué)模塊圍繞 HORIBA 的 IV 型像差校正平場(chǎng)全息離子蝕刻凹面光柵構(gòu)建，經(jīng)過專門設(shè)計(jì)，可輕松適應(yīng)各種探測(cè)器和電子驅(qū)動(dòng)器。該系統(tǒng)配備了一個(gè)集成的訂單分類過濾器，以消除更高的訂單。
VS70-MC 的專有布局采用單光學(xué)設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)的成像、峰值對(duì)稱性、平坦的光譜響應(yīng)、高分辨率、高靈敏度和低雜散光性能。該系統(tǒng)非常適合生命科學(xué)和半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用，例如 OES、反射測(cè)量和質(zhì)量控制。
對(duì)于 OEM 工業(yè)應(yīng)用
非常適合 UV-NIR 工業(yè)應(yīng)用，例如光學(xué)發(fā)射光譜、熒光、吸光度和反射測(cè)量
示例：
半導(dǎo)體（等離子監(jiān)測(cè)和晶圓檢測(cè)）
生命科學(xué)
過程和質(zhì)量控制
特征
三重通信能力 USB 2、以太網(wǎng)和 EtherCAT
高光譜分辨率和系統(tǒng)吞吐量
均勻的光譜響應(yīng)
從 UV 到 NIR 具有高靈敏度的擴(kuò)展光譜覆蓋范圍
高信噪比和寬動(dòng)態(tài)范圍
增強(qiáng)的視覺設(shè)計(jì)
提供一級(jí) TE 冷卻選項(xiàng)
OEM 光譜儀選擇指南
規(guī)格
| 一般光譜儀規(guī)格* | |
|---|---|
光譜覆蓋 | 200 - 910 納米 |
光譜儀輸入 | 光纖耦合：FC或SMA；可根據(jù)要求提供其他選項(xiàng)。 |
光譜分辨率 | < 2 納米 |
| 平均光譜 色散 | 25.2 納米/毫米 |
焦距 | 70 毫米 |
| 選項(xiàng) | 選用高檔傳感器：CMOS、BI CCD、PDA 輸入端口：SMA、FC、自由空間、自定義輸入 |
F/＃ | 光圈/2.3 |
| 雜散光抑制 典型值（值） | ≤ 0.4% 在所有適用波長(zhǎng)下的設(shè)計(jì) 使用 550OG 肖特玻璃濾光片和鎢 寬帶光源在 200 nm 至 450 nm 范圍內(nèi)測(cè)量 |
波長(zhǎng)準(zhǔn)確度 | ≤ 0.4 nm（平均波長(zhǎng)誤差） |
軟件** | 用于初始評(píng)估的 LabVIEW™ 采集軟件（為軟件集成提供的 DLL） |
| 檢測(cè)器選項(xiàng)和規(guī)格* | ||
|---|---|---|
| 具有大有效面積和高靈敏度的線性背照式 CCD | ||
| 探測(cè)器型號(hào) | 具有高光譜采集速度的 Hamamatsu CCD 傳感器 S11071 | 具有高光譜采集速度的冷卻 Hamamatsu CCD 傳感器 S11851 |
| 傳感器格式 | 2048 x 70 像素，可根據(jù) 要求提供更短的版本 | |
| CCD像素尺寸 | 14 x 14 微米 | 14 x 14 微米 |
| CCD 有效區(qū)域 | 28.7 x 1 毫米 | 28.7 x 1 毫米 |
| CCD QE | > 75% 對(duì)于 450-700 納米 | > 75% 對(duì)于 450-700 納米 |
| 傳感器溫度 | 未冷卻 | 冷卻（穩(wěn)定在 5°C） |
| 頻譜率 | 770 光譜/秒 | 770 光譜/秒 |
| 滿井容量 | > 235,000 eˉ（典型值）；>200,000 eˉ（最小值） | > 235,000 eˉ（典型值）；>200,000 eˉ（最小值） |
| 讀出噪聲 | 30 e-（典型值）；35 e-（） | 30 e-（典型值）；35 e-（） |
| 數(shù)字化 | 16位 | 16位 |
| 動(dòng)態(tài)范圍 (FW/RN) | 7,800:1（典型值） | 7,800:1（典型值） |
| 信噪比 | ≥ 447:1（典型 = 485:1） | ≥ 447:1（典型 = 485:1） |
| 非線性（ 在每個(gè)系統(tǒng)上測(cè)量） | < 0.4%（校正后） | < 0.4%（校正后） |
| 暗電流 @ (25°C) | 50 e-/pix/s（典型值）；500 e-/pix/s（） | 7 e-/pix/s（典型值）；70 e-/pix/s（） |
| 通信 觸發(fā)能力 （輸入和輸出） | 單模：Ethernet/EtherCAT/USB 2.0 雙模：Ethernet & EtherCAT 同時(shí) | 單模：Ethernet/EtherCAT/USB 2.0 雙模：Ethernet & EtherCAT 同時(shí) |
| 環(huán)境條件 | 工作溫度 15°C 至 40°C 環(huán)境 溫度 相對(duì)濕度 <70%（非冷凝） 存儲(chǔ)溫度 -25°C 至 45°C | |
| 電源要求 | 24VDC 電源 Kycon 9 針 DB9 連接器 | |
* HORIBA Instruments 有持續(xù)產(chǎn)品開發(fā)的政策，并保留修改零件號(hào)、描述和規(guī)格的權(quán)利，
恕不另行通知。
**運(yùn)行我們的采集軟件不需要 LabVIEW™ 許可證。
需要咨詢產(chǎn)品價(jià)格、貨期、購買產(chǎn)品、技術(shù)參數(shù)規(guī)格索取、技術(shù)及產(chǎn)品調(diào)試咨詢、商務(wù)合作請(qǐng)聯(lián)系我們?？头峋€：
