掃描型X射線熒光光譜儀從儀器的硬件與軟件在許多細節(jié)都進行了改進，使得儀器的可靠性與可操作性更進一步提高，增加了在行業(yè)內(nèi)優(yōu)先自主研發(fā)創(chuàng)造的250μm微區(qū)分布成像分析功能，從而達到更高的水平的完善程度。

· 在波長色散型裝置中，250μm微區(qū)分布成像分析功能，可分析不均勻樣品的含量分布、強度分布。

· 利用高次譜線進行準(zhǔn)確的定性/定量分析 高次譜線的判定更加準(zhǔn)確，提高了定性定量分析的準(zhǔn)確度/可靠性。

· 測定高分子薄膜的膜厚與無機成分分析的背景基本參數(shù)(BG-FP)法。利用康普頓散射/瑞利散射的強度比計算出熒光X射線分析不能得到的氫（H）元 素的信息。高分子薄膜分析中，利用康普頓散射線的理論強度作為高分子薄膜 的信息。

· 微區(qū)分析結(jié)構(gòu)：獨自開發(fā)的特殊形狀的滑動式視野限制光欄，利用r方向滑動與樣品旋轉(zhuǎn)控制的q轉(zhuǎn)動，可以在30mm直徑內(nèi)的任意位置進行分析。

· 利用CCD相機可以直接觀察樣品，在測定室導(dǎo)入樣品的位置上，將樣品容器按照與測定位置相同的方式放置，通過CCD攝取樣品的圖像，可使測定位置與圖像相吻合。

· 集成模塊功能,匹配分析功能，對應(yīng)于液體、粉末、固體、金屬、氧化物等不同形態(tài)的樣品具有相應(yīng)的分析條件，在這基礎(chǔ)上可編制更佳的分析條件?？筛鶕?jù)不同材質(zhì)。判定、品種分類、品種判定、一致性檢索這4種匹配功能進行判定、檢索。