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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

上海實(shí)驗(yàn)室真空PECVD射頻模塊薄膜均勻沉積

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2024/4/20 11:21:20
  • 訪問(wèn)次數(shù)129
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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司是集開(kāi)發(fā)、制造、經(jīng)營(yíng)為一體的材料創(chuàng)新型企業(yè),如今公司的產(chǎn)品已經(jīng)遍布國(guó)內(nèi)大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室 及*校,科探儀器已經(jīng)成為老師 同學(xué)歡迎和信任的品牌之一公司以科技創(chuàng)新為主,服務(wù)社會(huì)為宗旨,積極設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)新型材料制備設(shè)備,奉獻(xiàn)于教育和科學(xué),經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期的研發(fā)和不斷地技術(shù)積累,擁有熱工,制造,控制相關(guān)技術(shù)10余項(xiàng),為化學(xué),物理,材料,電子,高分子工程,新材料制備和研發(fā)領(lǐng)域的科學(xué)研究提供了精良設(shè)備。公司通過(guò)和院校老師 同學(xué)強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合,形成了有效的信息,技術(shù)交流平臺(tái),為科探儀器了解市場(chǎng)需求提供了強(qiáng)有力的支持!。目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個(gè)系列幾十款產(chǎn)品,產(chǎn)品囊括實(shí)驗(yàn)電爐、CVD供氣系統(tǒng)、等離子清洗機(jī)、小型離子濺射儀、小型蒸鍍儀等,主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究,廣銷于各大院校,及材料研究所。公司與國(guó)內(nèi)高校,科研院所有多層次的合作關(guān)系,建有開(kāi)放實(shí)驗(yàn)室,相關(guān)領(lǐng)域的教授、高級(jí)工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開(kāi)發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念,依靠嚴(yán)謹(jǐn)?shù)募夹g(shù)研發(fā)能力,科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝,精益求精的制造要求,全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作,科探儀器時(shí)刻懷著一顆真誠(chéng)的心期待與您的合作。
溫度控制儀
簡(jiǎn)要描述:上海實(shí)驗(yàn)室真空PECVD射頻模塊薄膜均勻沉積通過(guò)反應(yīng)氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn),工藝流程簡(jiǎn)單,與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較,生長(zhǎng)溫度更低,管輝光均勻等效,薄膜均勻沉積。
上海實(shí)驗(yàn)室真空PECVD射頻模塊薄膜均勻沉積 產(chǎn)品信息

PECVD簡(jiǎn)介

   上海實(shí)驗(yàn)室真空PECVD射頻模塊薄膜均勻沉積PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長(zhǎng)的一種新的制備技術(shù)。

  上海實(shí)驗(yàn)室真空PECVD射頻模塊薄膜均勻沉積通過(guò)反應(yīng)氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn),工藝流程簡(jiǎn)單,與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較,生長(zhǎng)溫度更低,管輝光均勻等效,薄膜均勻沉積。

上海實(shí)驗(yàn)室PECVD射頻模塊薄膜均勻沉積

KT-PE150S  性能數(shù)

型號(hào)

KT-PE150S

KT-PE500Z

號(hào)

13.56MHz±0.005%

出范

0-150W

0-500W

功率穩(wěn)定度

5W

射功

40W

出接

7/16,female  50 Ω

穩(wěn)定度

5W

匹配方式

手動(dòng)調(diào)節(jié)匹配

500W自動(dòng)匹配

耦合方式

電感式耦合

輝光壓力

30Pa

50/60Hz 220v±10%

機(jī)

70%

強(qiáng)制風(fēng)冷

支持爐管直徑

φ25-φ80

φ25-φ150

感應(yīng)區(qū)

210mm

機(jī)

48KG

機(jī):H x W x D(mm)

600 x 600x 1100



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