1.臺(tái)面高品質(zhì)304不銹鋼,尺寸有4英寸/6英寸/8英寸/12英寸,平面度5μm
2.4英寸的帶3個(gè)真空吸附孔,6-12英寸的帶4個(gè)真空吸附孔
3.日本進(jìn)口無油氣泵,10L/分鐘,可以連續(xù)工作
4.中心孔徑1mm,最小可以吸住1.2*1.2mm的芯片,可以吸住4"*4"/6"*6"
5.卡盤可以360°旋轉(zhuǎn),,方便點(diǎn)測(cè)時(shí)樣品在X-Y軸方向上調(diào)平
1.臺(tái)面高品質(zhì)304不銹鋼,尺寸有4英寸/6英寸/8英寸/12英寸,平面度5μm
2.4英寸的帶3個(gè)真空吸附孔,6-12英寸的帶4個(gè)真空吸附孔
3.日本進(jìn)口無油氣泵,10L/分鐘,可以連續(xù)工作
4.中心孔徑1mm,最小可以吸住1.2*1.2mm的芯片,可以吸住4"*4"/6"*6"
5.卡盤可以360°旋轉(zhuǎn),,方便點(diǎn)測(cè)時(shí)樣品在X-Y軸方向上調(diào)平
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