說明：
Formtracer Extreme (超級表面粗糙度/ 輪廓測量裝置)CS-5000CNC / CS-H5000CNC
技術參數(shù):
X1 軸
測量范圍: 200mm
分辨率: 0.00625μm
檢測方法: 激光全息光柵尺
驅動速度: 40mm/s (CNC 模式)0 - 40mm/s (操縱桿控制模式)
測量速度: 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度)0.02 - 2mm/s (形狀／輪廓)
移動方向: 向前／向后
直線度: (0.1+0.0015L)μm、使用標準測針(0.2+0.0015L)μm、使用二倍長型測針
直線度: (0.05+0.0003L)μm、使用標準測針(0.2+0.0015L)μm、使用二倍長型測針
指示精度 (20°C): ±(0.3+0.002L)μm
指示精度 (20°C): ±(0.16+0.001L)μm
L 為驅動長度(mm)
Z1 軸
測量范圍: 12mm (標準測針)24mm (二倍長型測針)
分辨率: 0.001μm (標準測針)0.002μm (二倍長型測針)
測針上／下運作: 弧形運動
檢測方法: 激光全息光柵尺
指示精度 (20°C): ±(0.3+I0.02HI)μm
指示精度 (20°C): ±(0.07+I0.02HI)μm
H 為測量高度(mm)
測力: 4mN (標準測針)0.75mN (二倍長型測針)
跟蹤角度: 向上60° 、 向下60°
(取決于表面粗糙度)
測針針尖: 半徑: 5μm, 角度： 40°、鉆石
(球型測針) (半徑: 0.25mm, 藍寶石)
測針方向: 向下
Z2 軸(立柱)
測量范圍: 300mm (500mm：高立柱型)
分辨率: 0.05μm
檢測方法: 反射型線性編碼器
驅動速度: 200mm/s (CNC 模式)0 - 50mm/s (操縱桿控制模式)
基座尺寸(W x D): 750 x 600mm
基座材料: 花崗巖
尺寸 (W x D x H): 800 x 620 x 1000mm(800 x 620 x 1200mm：高立柱型)
重量: 240kg (250kg：高立柱型)
*CS-H5000CNC
性能參數(shù)
型號CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC
貨號* (100V - 120V) 525-721-1 525-722-1 525-723-1 525-724-1
貨號* (200V - 240V) 525-721-2 525-722-2 525-723-2 525-724-2
X1 軸測量范圍200mm 200mm 200mm 200mm
Z2 軸垂直行程300mm 300mm 300mm 300mm
Y 軸工作臺裝置— — 已安裝已安裝
a 軸裝置— 已安裝— 已安裝
型號CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC
貨號* (100V - 120V) 525-741-1 525-742-1 525-743-1 525-744-1
貨號* (200V - 240V) 525-741-2 525-742-2 525-743-2 525-744-2
X1 軸測量范圍200mm 200mm 200mm 200mm
Z2 軸垂直行程500mm 500mm 500mm 500mm
Y 軸工作臺裝置— — 已安裝已安裝
a 軸裝置— 已安裝— 已安裝
型號CS-H5000CNC CS-H5000CNC
貨號* (100V - 120V) 525-761-1 525-763-1
貨號* (200V - 240V) 525-761-2 525-763-2
X1 軸測量范圍200mm 200mm
Z2 軸垂直行程300mm 300mm
Y 軸工作臺裝置— 已安裝
a 軸裝置— —
