WaveMaster波前測(cè)量?jī)x是應(yīng)用于球面及非球面光學(xué)系統(tǒng)波前實(shí)時(shí)測(cè)量和分析的儀器,具有高空間分辨率和高精度的特征,整合了目前波前傳感技術(shù)。
應(yīng)用范圍:
各種球面及非球面鏡片光學(xué)波前面和鏡片或鏡頭的表面面型的檢測(cè)
實(shí)驗(yàn)室內(nèi)大口徑精密鏡頭或鏡片的波前檢測(cè)
產(chǎn)線大批量鏡頭波前和表面面型的檢測(cè)
晶圓級(jí)鏡頭的波前檢測(cè)
技術(shù)指標(biāo):
微透鏡陣列138×138
波前測(cè)量精度優(yōu)于 <λ/20(RMS)
波前測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍:2000λ
表面面型測(cè)量精度 <0.050μm(RMS)
表面面型動(dòng)態(tài)范圍 >200μm
非球面度 <7度
測(cè)量波長(zhǎng)(可定制)
數(shù)值孔徑(可定制)
被測(cè)樣品直徑(可定制)
被測(cè)樣品焦距(可定制)