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渦輪分子泵應(yīng)用于激光分子束外延 Lazer MBE

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公司名稱伯東企業(yè)（上海）有限公司
品牌
型號
所在地深圳市
廠商性質(zhì)代理商
更新時(shí)間2025/5/28 11:48:30
訪問次數(shù)20

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伯東企業(yè)(上海)有限公司(德國Pfeiffer中國華東華南代理)www.hakuto-vacuum.cn，專業(yè)銷售及維修德國Pfeiffer氦質(zhì)譜檢漏儀及分子泵、旋片泵、羅茨泵、真空規(guī)管、質(zhì)譜儀等真空產(chǎn)品。維修技術(shù)力量雄厚，保證 100 % 擁有標(biāo)準(zhǔn)的德國Pfeiffer原廠測試設(shè)備及調(diào)整工具和德國Pfeiffer專業(yè)培訓(xùn)工程師，多年來致力于真空系統(tǒng)的安裝、調(diào)試、維修、拆機(jī)、保養(yǎng)等，具有優(yōu)良的專業(yè)技能和服務(wù)意識，并獲得原廠*維修資質(zhì)證書。利用 Pfeiffer 進(jìn)口檢測設(shè)備對維修后的產(chǎn)品做*性能測試。

伯東企業(yè)(上海)有限公司(德國普發(fā)中國區(qū)總代理)是一家專業(yè)代理公司，專業(yè)代理德國Pfeiffer 真空產(chǎn)品。主要經(jīng)營渦輪分子泵(分子泵 Hipace10-700 l/s系列、TMH/U、 TPH/U之分子泵 10-500 l/s系列、分子泵 1000-2000 l/s系列及全磁浮分子泵 magnetic turbo pump系列)、分子泵機(jī)組、分子泵附件、機(jī)械泵(單、雙級旋片泵、羅茨泵)、油泵、干泵(隔膜泵、Xtradry)、氦質(zhì)譜檢漏儀、質(zhì)譜儀(殘余氣體分析質(zhì)譜系列和常壓分析質(zhì)譜系列)、真空計(jì)、真空配件(連接零部件、密封件、法蘭、管件、波紋管、轉(zhuǎn)接頭)、真空閥門和分子泵*油(P3油、F4/F5油、D1油)等產(chǎn)品。

同時(shí)，我公司作為德國普發(fā)在中國**Pfeiffer維修中心，在上海、深圳、中國臺灣、日本、泰國、香港等地均設(shè)有Pfeiffer 正式*維修服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)，保證 100 ％德國 Pfeiffer 原廠部件和受德國Pfeiffer專業(yè)培訓(xùn)的工程師，并用 Pfeiffer 進(jìn)口檢測*設(shè)備對維修后的產(chǎn)品做全方面的性能測試，為您提供從配件到維護(hù)合同的標(biāo)準(zhǔn)化服務(wù)體系。

我公司秉承較早、Z快、Z及時(shí)的基本原則，為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和周到的服務(wù)。伯東公司愿意與世界各地的客戶聯(lián)手合作，共建一個(gè)誠信、發(fā)展、共同進(jìn)步的良好環(huán)境。

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德國 Pfeiffer 真空泵，氦檢漏儀,分子泵，質(zhì)譜儀，真空規(guī)管，真空閥門及美國Brooks 旗下CTI Cropump 冷凝泵/低溫泵， Polycold 冷凍機(jī)和美國KRI 離子源，PLD鍍膜機(jī)

產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

渦輪分子泵應(yīng)用于激光分子束外延 Lazer MBE

渦輪分子泵應(yīng)用于激光分子束外延 Lazer MBE 產(chǎn)品信息

Pfeiffer 渦輪分子泵應(yīng)用于激光分子束外延系統(tǒng) Lazer MBE
激光分子束外延 Lazer MBE 是一種晶體生長技術(shù), 將半導(dǎo)體襯底放置在超高真空腔體中, 和將需要生長的單晶物質(zhì)按元素的不同分別放在噴射爐中, 由分別加熱到相應(yīng)溫度的各元素噴射出的分子流能在襯底上生長出極薄的. 可薄至單原子層水平, 單晶體和幾種物質(zhì)交替的超晶格結(jié)構(gòu). 分子束外延主要研究的是不同結(jié)構(gòu)或不同材料的晶體和超晶格的生長, 該方法生長溫度低, 能嚴(yán)格控制外延層的層厚組分和摻雜濃度.

分子束外延系統(tǒng)需要高真空環(huán)境!
外延系統(tǒng)中的超高真空腔體對真空度要求及其高, 對真空腔體的密封性, 材料放氣率, 微量雜質(zhì)氣體和水蒸氣比較敏感,德國 Pfeiffer 分子泵可提供穩(wěn)定的真空環(huán)境, 對晶格的生長起到良好的作用

上海伯東激光分子束外延 Lazer MBE 客戶案例一: 某真空設(shè)備商采購 Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 400, HiPace 80 用于激光分子束外延系統(tǒng), 系統(tǒng)功能
1. 主要針對金屬薄膜及材料器件的氧化物外延生長
2. 超高真空生長室, 直徑 12英寸.
3. 額定基壓：<1x10-6 Torr
4. 配有12個(gè)加熱泄流源.
5. 襯底加熱器加熱溫度 950℃
6. 可放置 6個(gè)1"的靶及 3個(gè)2"的靶
7. 質(zhì)量流量計(jì)控制進(jìn)入真空腔的流量, 量程 100sccm.
8. 線型進(jìn)樣室實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)送片
渦輪分子泵應(yīng)用于激光分子束外延 Lazer MBE
分子束外延超高真空系統(tǒng)配置

	渦輪分子泵 HiPace 400 接口: DN 100 CF-F 極限真空: < 5X10-10 mbar 氮?dú)鈮嚎s比: > 1X1011 抽速: 355 l/s
	渦輪分子泵 HiPace 80 接口: DN 63 CF-F 極限真空: < 5X10-10 mbar 氮?dú)鈮嚎s比: > 1X1011 抽速: 67 l/s
	隔膜泵 MVP 020 口徑: DN 8+G1/8” 極限真空: 3 mbar 抽速: 1.2 m³/h

Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速 90,000 rpm, 極限真空 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實(shí)踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運(yùn)行時(shí)間可以達(dá)到 100,000 小時(shí)! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 更多分子泵典型應(yīng)用 >>

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