渦輪分子泵應(yīng)用于 ITO 鍍膜生產(chǎn)線
ITO Indium Tin Oxide, 銦錫氧化物, 結(jié)晶具有體心立方鐵錳礦結(jié)構(gòu), 是一種重?fù)诫s, 高簡(jiǎn)并的寬禁帶型半導(dǎo)體材料, 具有優(yōu)良的導(dǎo)電性, 可見光透過率以及紅外反射率, 而且還具有高硬度, 耐磨性, 耐化學(xué)腐蝕特性. 因此廣泛應(yīng)用于平板顯示器 FPD 和太陽能電池. 通常制備 ITO 薄膜的方法有溶膠凝膠法, 磁控濺射法, 脈總激光沉積和電子束蒸發(fā)等.
ITO 鍍膜過程必須在干凈清潔的真空系統(tǒng)中
上海伯東普發(fā) Pfeiffer HiPace 渦輪分子泵清潔無油, 極限真空度可達(dá) 10-11mbar, 轉(zhuǎn)子速率可達(dá) 90000rpm, 廣泛應(yīng)用于ITO 鍍膜生產(chǎn)線.
上海伯東 ITO 鍍膜生產(chǎn)線客戶案例: 深圳某企業(yè)為熱門的蘋果公司提供手機(jī)顯示屏, Pfeiffer 分子泵因其優(yōu)秀性能應(yīng)用在 ITO 生產(chǎn)線中,上海伯東作為德國(guó)普發(fā) Pfeiffer 真空設(shè)備中國(guó)區(qū)銷售公司, 提供完善的售前,售后服務(wù)并得到客戶一致的好評(píng).
Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速 90,000 rpm, 極限真空 1E-11 mbar, 對(duì)小分子氣體具有更高的壓縮比, 實(shí)踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運(yùn)行時(shí)間可以達(dá)到 100,000 小時(shí)! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 更多分子泵典型應(yīng)用 >>
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