潔凈室及空調(diào)負(fù)荷
1 當(dāng)前集成電路（IC）及平板顯示模塊（FPD）生產(chǎn)的潔凈室面積及型式
[url=http://www.iwuchen.com/]潔凈棚[/url]IC生產(chǎn)需要較多的潔凈室面積，新興起的FPD生產(chǎn)，當(dāng)前主要是薄膜晶體管液晶顯示模塊（TFT-LCD），更是*。這些產(chǎn)品生產(chǎn)需要大量的潔凈室面積都是由生產(chǎn)工藝特點(diǎn)的要求以及規(guī)模經(jīng)濟(jì)情況決定的。
目前上述生產(chǎn)廠的潔凈室型式多為微環(huán)境+開(kāi)放式潔凈室。過(guò)去IC生產(chǎn)采用微環(huán)境+開(kāi)放式潔凈室，還是隧道式潔凈室，在綜合經(jīng)濟(jì)效果上存在著不同看法。隨著IC技術(shù)的飛速發(fā)展，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的污染控制要求更嚴(yán)，對(duì)其靈活性要求更大，以適應(yīng)產(chǎn)品更新?lián)Q代快的要求，另外微環(huán)境與工藝結(jié)合的技術(shù)進(jìn)一步發(fā)展，因此，當(dāng)前微環(huán)境+開(kāi)放式潔凈室的型式對(duì)*的IC生產(chǎn)，其優(yōu)勢(shì)已較明顯。新興起的FPD生產(chǎn)其潔凈室亦基本采用這種型式。
2 1C及四FPD生產(chǎn)空調(diào)冷負(fù)荷情況及節(jié)能措施
2．1 1C廠空調(diào)冷負(fù)荷大的原因
2．2 當(dāng)前行之有效的或較合理的節(jié)能措施提出如下
（1）宜選擇高能效的設(shè)備；尤其是冷水機(jī)組、水泵，多付出的設(shè)備投資，其回收期一般較短；
（2）[url=http://www.fenglinji.com/]全自動(dòng)風(fēng)淋室[/url]冷水水溫宜提高至△t=7℃（即t1=5℃，t2=12℃）以減少水泵功率及管徑，表冷器因冷水回水溫度提高而引起傳熱面積的增加，一般不會(huì)>10％，經(jīng)濟(jì)效果會(huì)是明顯的；
（3）對(duì)送入潔凈室內(nèi)的空氣，由于工藝發(fā)熱量大，多采用新風(fēng)處理到規(guī)定要求后與回風(fēng)混合，以干表冷器進(jìn)行處理，這樣可提高干表冷器所用冷水溫度至12℃/17℃，以節(jié)省冷水機(jī)組的運(yùn)行能耗；
因此，[url=http://www.songfengkou.com/]高效送風(fēng)口[/url]冷水系統(tǒng)按冷水溫度的不同宜分成二個(gè)系統(tǒng)，使一部分冷水機(jī)組運(yùn)行工況為12℃／17℃，以更好的實(shí)現(xiàn)冷水機(jī)組的運(yùn)行節(jié)能；
（4）合理的自控系統(tǒng)以實(shí)現(xiàn)運(yùn)行節(jié)能；
（5）熱回收利用。由于全年有空調(diào)冷負(fù)荷，因此，冷水機(jī)組冷凝器的熱回收，有現(xiàn)實(shí)意義，宜進(jìn)行平衡分析；
在某些地區(qū)，可考慮采用無(wú)費(fèi)制冷，即利用冷卻塔的冷卻水溫度低于冷水溫度1.5-2℃時(shí)，
設(shè)板式換熱器以冷卻水吸收冷水的熱來(lái)制取冷水，而停一部分冷水機(jī)組，這對(duì)干表冷器的冷水系統(tǒng)（12℃／17℃）更具有意義；
（6）IC廠全廠用電負(fù)荷大（一般在20000～40000kW），冷負(fù)荷又全年都有，在某些情況下，
有采用熱電冷聯(lián)產(chǎn)的條件，應(yīng)加以注意。
參考鏈接：
手術(shù)室凈化工程：http://www.iwuchen.com/6/
潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)：http://www.iwuchen.com/news-2/
潔凈室檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)：http://www.iwuchen.com/news-3/
無(wú)塵廠房設(shè)計(jì)規(guī)范：http://www.iwuchen.com/news-4/
無(wú)塵車(chē)間管理制度：http://www.iwuchen.com/news-5/
潔凈室換氣次數(shù)標(biāo)準(zhǔn)：http://www.iwuchen.com/a-95/
高效過(guò)濾器檢漏：http://www.songfengkou.com/news-2/
風(fēng)淋機(jī)：http://www.fenglinji.com/
