主要性能指標：
玻璃處理室：Φ100mm、高度130mm
試樣臺尺寸：Φ40mm可同時放6個樣品杯
金靶尺寸：Φ58mm
真空系統(tǒng)：直聯(lián)旋片真空泵2L／S
真空檢測：皮氏計
真空保護：20Pa配有微量充氣閥調節(jié)工作真空
工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣專用進氣口和微量充氣調節(jié)
主要性能指標：玻璃處理室：Φ100mm、高度130mm試樣臺尺寸：Φ40mm可同時放6個樣品杯金靶尺寸：Φ58mm真空系統(tǒng)：直聯(lián)旋片真空泵2L／S真空檢測：皮氏計真空保護：20Pa配有微量充氣閥調節(jié)工作真空工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣專用進氣口和微量充氣調節(jié)主要性能指標：
玻璃處理室：Φ100mm、高度130mm
試樣臺尺寸：Φ40mm可同時放6個樣品杯
金靶尺寸：Φ58mm
真空系統(tǒng)：直聯(lián)旋片真空泵2L／S
真空檢測：皮氏計
真空保護：20Pa配有微量充氣閥調節(jié)工作真空
工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣專用進氣口和微量充氣調節(jié)
主要性能指標：
玻璃處理室：Φ100mm、高度130mm
試樣臺尺寸：Φ40mm可同時放6個樣品杯
金靶尺寸：Φ58mm
真空系統(tǒng)：直聯(lián)旋片真空泵2L／S
真空檢測：皮氏計
真空保護：20Pa配有微量充氣閥調節(jié)工作真空
工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣專用進氣口和微量充氣調節(jié)
主要性能指標：
玻璃處理室：Φ100mm、高度130mm
試樣臺尺寸：Φ40mm可同時放6個樣品杯
金靶尺寸：Φ58mm
真空系統(tǒng)：直聯(lián)旋片真空泵2L／S
真空檢測：皮氏計
真空保護：20Pa配有微量充氣閥調節(jié)工作真空
工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣專用進氣口和微量充氣調節(jié)
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