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鉑悅儀器(上海)有限公司


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反射膜厚儀

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產(chǎn)品型號MProbe UVVisSR

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時間:2025-05-12 14:24:35瀏覽次數(shù):44次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品描述:MProbe UVVisSR薄膜測厚儀大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測量。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品概述

        MProbe UVVisSR薄膜測厚儀大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導(dǎo)體(硅,單晶硅,多晶硅),半導(dǎo)體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類金剛石炭),聚合物涂層(聚對二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

       該機大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導(dǎo)體(硅,單晶硅,多晶硅),半導(dǎo)體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類金剛石炭),聚合物涂層(聚對二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

測量范圍: 1 nm -50um    

波長范圍: 200 nm -1000 nm

MProbe UVVisSR薄膜測厚儀適用于實時在線測量,多層測量,非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。

測量指標(biāo):薄膜厚度,光學(xué)常數(shù)

界面友好強大: 一鍵式測量和分析。

實用的工具:曲線擬合和靈敏度分析,背景和變形校正,連接層和材料,多樣品測量,動態(tài)測量和產(chǎn)線批量處理。

(MProble NIR薄膜測厚儀系統(tǒng)示 )

案例1,73nm SiN氮化硅薄膜的測量

硅晶圓反射率,測量時間10ms

使用Tauc-Lorentz模型,測量SiN薄膜的n和k值

關(guān)鍵詞:測厚儀

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