當(dāng)前位置：鉑悅儀器（上海）有限公司>>薄膜應(yīng)力測量儀>>連續(xù)式四探針片電阻及光學(xué)膜厚測量設(shè)備

連續(xù)式四探針片電阻及光學(xué)膜厚測量設(shè)備

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地上海市

在線詢價收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時間：2025-05-13 08:23:43瀏覽次數(shù)：49次

聯(lián)系我時，請告知來自環(huán)保在線

產(chǎn)品分類 品牌分類

  薄膜應(yīng)力測量儀

全部產(chǎn)品列表

暫無信息

鉑悅儀器（上海）有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：112條

所在地區(qū)：

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品描述：連續(xù)式四探針片電阻及光學(xué)膜厚測量設(shè)備設(shè)計(jì), 片電阻不受針尖距離影響多種型號以供選擇

詳細(xì)介紹

連續(xù)式四探針片電阻及光學(xué)膜厚測量設(shè)備設(shè)計(jì), 片電阻不受針尖距離影響多種型號以供選擇:
自動上下片(Cassette to cassette, C2C)
室溫至100°C 的測量(更高可選)
可添加并整合于多腔式的集束型架構(gòu)設(shè)備(cluster tool)

亦可在連續(xù)式設(shè)備內(nèi)加入四探針片電阻及光學(xué)膜厚測量, 適合薄膜太陽能(銅銦鎵硒, CIGS)及平板顯示行業(yè)

基材尺寸:
450mm晶圓 (樣品臺旋轉(zhuǎn))
370 x 470mm 長方形基底 (XY樣品臺)
連續(xù)式設(shè)備可以度身訂做, 沒有尺寸限制
片電阻測量適合金屬薄膜、銅銦鎵硒、非晶硅(硅)、碲化鎘、鉬、透明導(dǎo)電薄膜(AlZnO2)、摻雜之后的硅(硅)、硅鍺及鍺
0.1 – 100,000 單位面積奧姆值 (更高可選)

可整合于連續(xù)式(INLINE)的生產(chǎn)線內(nèi), 而收集的測量數(shù)據(jù)可自動送到SCADA系統(tǒng)
光學(xué)膜厚測量功能可選
測量光斑<1mm
波長: 380-1050nm
可測量膜厚: 15-50nm, 多可達(dá)250nm
短時間重復(fù)性: ~0.1nm
長時間重復(fù)性:: ~0.1nm