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壓電旋轉(zhuǎn)平臺

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更新時間：2024-02-14 15:00:20瀏覽次數(shù)：401次

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上海昊量光電設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

高精度緊湊型AU-XRT系列壓電旋轉(zhuǎn)臺是一款緊湊的高精度的

詳細(xì)介紹

高精度緊湊型

AU-XRT系列壓電旋轉(zhuǎn)臺是一款緊湊的高精度的。該系列旋轉(zhuǎn)臺采用軸承技術(shù)，使壓電旋轉(zhuǎn)平臺的徑向、軸向和傾斜方向上的旋轉(zhuǎn)誤差小。該系列由滑塊驅(qū)動和超聲波馬達兩種驅(qū)動方式，可進行連續(xù)旋轉(zhuǎn)，對角度無限制，并且集成了光學(xué)編碼器閉環(huán)控制，使壓電旋轉(zhuǎn)臺擁有的分辨率和可重復(fù)性。

上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的壓電旋轉(zhuǎn)臺按照使用馬達的不同可以分為兩類。

1）使用超聲波馬達驅(qū)動的旋轉(zhuǎn)臺，AU-XRT-U系列。

AU-XRT-U系列是由超聲波驅(qū)動的緊湊的旋轉(zhuǎn)臺。其與空氣軸承旋轉(zhuǎn)臺擁有相媲美的旋轉(zhuǎn)精度和誤差但是卻擁有更小的體積和更低廉的價格。與其它壓電技術(shù)相比超聲波壓電電機擁有更長的使用壽命、更低的功耗并且無噪聲。并且集成了光學(xué)編碼器閉環(huán)控制，精度可達到0.0002°，速度可達到1080°/s。該系列用AU-XRT-U30和AU-XRT-U40兩款旋轉(zhuǎn)臺。

壓電旋轉(zhuǎn)臺.png

Fig1 運動誤差測量

壓電旋轉(zhuǎn)臺.jpg

Fig2 AU-XRT-U

2)滑塊式驅(qū)動旋轉(zhuǎn)臺AU-XRT-A.

AU-XRT-A采用滑塊式壓電馬達驅(qū)動，利用軸承技術(shù)，即使在旋轉(zhuǎn)過程中也可以主動將徑向誤差運動補償，AU-XRT-A的徑向誤差小于500nm，可以與空氣軸承精度相媲美，并且體積緊湊價格低廉，并且可以提供真空和磁性應(yīng)用的產(chǎn)品。

壓電旋轉(zhuǎn)臺.png

Fig3. 運動誤差測量

壓電旋轉(zhuǎn)臺.png

Fig4.AU-XRT-A旋轉(zhuǎn)臺

主要特點

l 高精度（200μ°）

l 高速度（1080°/s）

l 可在真空10^-6mbar和磁性（1.5T）條件使用

主要應(yīng)用

l 微型CT掃描儀

l 衍射系統(tǒng)

l 電子顯微鏡

l 同步加速器

l 計量學(xué)

產(chǎn)品參數(shù)：

	AU-XRT-U30	AU-XRT-U40	AU-XRT-A
Drive principle:	ultrasonic piezo motor		stick-slip
Radial error motion:	< ="" 5="" µm="" (-sb)="" or="">< 1="" µm="">		down to 500 nm
Axial error motion:	< ="" 3="" µm="" (-sb)="" or="">< 0.5="" µm="">		< ="" 1="">
Tilt (wobble):	< ="" 50="" µrad="">		< ="" 100="">
Load capacity:	< ="" 1="">		≤ 1 N (100 g)
Aperture:	7mm	10 mm (with P sensor) or 1/2’’ (with S sensor
Driving torque:	14 Nmm	20 Nmm
Holding torque:	7 Nmm	10 Nmm
Speed:	from 8 m°/s up to 3 rev/s		± 2 rpm
Resolution:	6.25 m° (-S)	6.25 m° (-S) or 200 µ° (-P)	6.25 m° (-S)