RST5210F型電化學(xué)工作站是在RST5200F型的成熟基礎(chǔ)上增加四探針電阻率測(cè)試方法而來(lái)。該測(cè)試方法是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具，適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校及各類(lèi)科研部門(mén)。
四探針電阻率測(cè)試方法與電化學(xué)工作站中的其他方法一樣，軟件界面友好、參數(shù)設(shè)置簡(jiǎn)單明了。啟動(dòng)測(cè)試后，儀器按設(shè)定的參數(shù)自動(dòng)連續(xù)采集數(shù)據(jù)，在屏幕上實(shí)時(shí)顯示電阻-時(shí)間曲線。測(cè)試結(jié)束后，根據(jù)電阻形態(tài)參數(shù)自動(dòng)換算成電阻率及電導(dǎo)率，無(wú)需人工計(jì)算。配備的專(zhuān)用電化學(xué)工作站軟件在電腦上運(yùn)行，可隨時(shí)顯示、保存、打印數(shù)據(jù)和圖形，以備存查。
本方法的設(shè)置參數(shù)有：電阻形態(tài)及尺寸、探針形狀及間距、激勵(lì)電流及可測(cè)電阻范圍、預(yù)熱時(shí)間、樣點(diǎn)間隔、樣點(diǎn)數(shù)量、被測(cè)器件電動(dòng)勢(shì)等。
測(cè)試工具可根據(jù)被測(cè)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目的要求選購(gòu)，配置不同的測(cè)試工具可滿(mǎn)足不同材料的測(cè)試要求。
本儀器的四探針電阻率測(cè)量方法適用于分立電阻、線狀電阻、面狀電阻、塊狀電阻、直流器件內(nèi)阻。也就是說(shuō)，可測(cè)量導(dǎo)體及半導(dǎo)體材料的軸向電阻率、徑向電阻率、擴(kuò)散層薄膜電阻率。本儀器具有自動(dòng)電位扣除功能，因此可測(cè)量含源直流器件內(nèi)阻。
電阻形態(tài) | 例子 |
分立電阻 | 各種類(lèi)型電阻器件 |
線狀電阻 | 銅線、銅棒、鋁線、鋁棒、鐵絲、導(dǎo)電性纖維 |
面狀電阻 | 導(dǎo)電覆蓋膜、ITO導(dǎo)電膜玻璃、金屬化標(biāo)簽、半導(dǎo)體外延層擴(kuò)散層、 觸屏薄膜、合金類(lèi)箔膜、電極涂料導(dǎo)電漆膜，蒸發(fā)鋁膜，PCB銅箔膜 |
塊狀電阻 | 金屬方塊電阻、金屬圓塊電阻、半導(dǎo)體材料晶塊、半導(dǎo)體材料晶圓、 導(dǎo)電橡膠、導(dǎo)電性塑料、導(dǎo)電性陶瓷、導(dǎo)電性糊狀物 |
直流器件內(nèi)阻 | 鋰離子電池、鉛酸蓄電池、干電池、鈕扣電池 |
主要技術(shù)指標(biāo)：
儀器架構(gòu)：恒電位儀、恒電流儀、交流阻抗頻譜儀 | 電流測(cè)量精度：滿(mǎn)量程的0.1% |
接地模式：可根據(jù)體系要求設(shè)置成實(shí)地模式或浮地模式 | 電流測(cè)量低通濾波器：自動(dòng)或手動(dòng)設(shè)置 |
槽壓：±15V(可擴(kuò)展至±22V或±30V) | 方波伏安法頻率：1Hz~100kHz |
電位掃描范圍：±12.8V | 交流伏安法頻率：0.1Hz~10kHz |
CV最小電位增量：0.0125mV | 交流阻抗譜頻率:0.00001Hz～1MHz（11個(gè)頻段） |
電位控制精度：<±0.5mV | 正弦波幅度:0.01mV～12V |
電位控制噪聲：<0.01mV | CA和CC脈沖寬度：0.1mS～1200S |
電位上升時(shí)間：<0.00025mS | DPV脈沖寬度：0.05mS～64S |
電位測(cè)量零位：自動(dòng)校正 | IR降補(bǔ)償：自動(dòng)或手動(dòng)設(shè)置（10Ω~1MΩ） |
電位更新及阻抗采集速率：10MHz | 多階躍循環(huán)次數(shù)：1000次 |
電位測(cè)量低通濾波器：自動(dòng)或手動(dòng)設(shè)置 | 限壓反饋恒流換向時(shí)間：<0.1mS |
電位測(cè)量精度：滿(mǎn)量程的0.1% | 恒流限壓循環(huán)周期：0.1S~100000S |
掃描速度：0.000001V/S～20000V/S | 脈沖電鍍//最小脈寬：八相脈沖可正可負(fù)//0.05mS |
參比電極輸入阻抗//電容：>1013Ω//<10pF | 電池全容量充電工步：激活、恒流、恒壓、涓流 |
恒電流輸出 ：±500mA | 雙通道高速ADC:18bit@1Msps |
輸入偏置電流：<0.1pA | 數(shù)據(jù)長(zhǎng)度：20，000，000點(diǎn) |
電流測(cè)量分辨率：電流量程的0.00076%，最小0.2fA | 通氮攪拌及敲擊控制輸出：二路開(kāi)關(guān)量信號(hào)（+5V/10mA） |
電流測(cè)量零位：自動(dòng)校正 | 擴(kuò)展輸出：二路光電隔離數(shù)字量信號(hào) |
電流測(cè)量量程：1pA～500mA(25檔) | 儲(chǔ)能電化學(xué)測(cè)量保護(hù)模式：極性、電壓、電流、時(shí)間、鏈路 |
前置放大倍數(shù)：5×10×100 | 電極智能柔性保護(hù) ：電壓超載、電流超載 |
電流測(cè)量靈敏度：1×10-12A/V | 與RSRSMART儀器聯(lián)機(jī)，綜合軟件同步運(yùn)行，實(shí)現(xiàn)毛細(xì)管電泳及電化學(xué)發(fā)光檢測(cè)。 |
主要測(cè)試方法：
線性?huà)呙璺卜?span lang="EN-US">LSV | 單電位階躍計(jì)時(shí)電流法CA |
線性?huà)呙枞艹龇卜?/span> | 單電位階躍計(jì)時(shí)電量法CC |
線性?huà)呙柩h(huán)伏安法LCV | 多電位階躍計(jì)時(shí)電流法 |
階梯伏安法SV | 多電位階躍計(jì)時(shí)電量法 |
階梯溶出伏安法 | 單電流階躍計(jì)時(shí)電位法CP |
階梯循環(huán)伏安法SCV | 多電流階躍計(jì)時(shí)電位法 |
方波伏安法SWV | 恒電位電解I-T曲線 |
方波溶出伏安法 | 恒電位電解Q-T曲線 |
方波循環(huán)伏安法SWCV | 恒電位溶出I-T曲線 |
差示脈沖伏安法DPV | 恒電位溶出Q-T曲線 |
差示脈沖溶出伏安法 | 開(kāi)路電位E-T曲線OCPT |
常規(guī)脈沖伏安法NPV | 電位溶出E-T曲線 |
差示常規(guī)脈沖伏安法DNPV | 控制電流E-T曲線 |
差分脈沖電流檢測(cè) | 控制電位電解庫(kù)侖法 |
雙差分脈沖電流檢測(cè) | 鍍錫量測(cè)定 |
三脈沖電流檢測(cè) | 塔菲爾圖Tafel |
積分脈沖電流檢測(cè) | 環(huán)形掃描 |
脈沖電鍍法 | 點(diǎn)蝕電位 |
電鍍電位監(jiān)測(cè) | 電偶腐蝕 |
流體力學(xué)調(diào)制伏安法 | 電化學(xué)噪聲測(cè)量 |
交流伏安法ACV | 氯離子濃度監(jiān)測(cè) |
交流溶出伏安法 | 宏電池電流監(jiān)測(cè) |
交流循環(huán)伏安法ACCV | 半電池恒流陽(yáng)極極化 |
二次諧波交流伏安法 | 半電池恒流陰極極化 |
傅里葉變換交流伏安法 | 半電池恒流循環(huán)極化 |
電流掃描計(jì)時(shí)電位法 | 電池恒流充電 |
交流阻抗譜EIS | 電池恒流放電 |
交流阻抗-電位 (阻抗模-電位、輻角-電位、Mott-Schottky) | 電池恒流循環(huán)充放電 |
交流阻抗-時(shí)間 | 電池全容量分段充電 |
微分電容-電位 | 電池全容量分段放電 |
微分電容-頻率 | 恒流限壓快速循環(huán)充放電 |
高阻電位計(jì) | 零阻電流計(jì) |
器件電阻電源內(nèi)阻測(cè)量 | 四探針?lè)綁K電阻測(cè)量 |
線狀材料電阻率測(cè)量 | 刀型探頭方塊電阻測(cè)量 |
