該產(chǎn)品是由射頻電源、氣體質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、襯底控溫系統(tǒng)、真空系統(tǒng)組成，適用于室溫至1200℃條件下進(jìn)行SiO2、SiNx薄膜的沉積，同時可實現(xiàn)TEOS源沉積，SiC膜層沉積以及液態(tài)氣態(tài)源沉積其它材料，尤其適合于有機(jī)材料上高效保護(hù)層膜和特定溫度下無損傷鈍化膜的沉積。
產(chǎn)品參數(shù)：
| 產(chǎn)品名稱 | PECVD系統(tǒng) |
| 產(chǎn)品型號 | KJ-T1200-PE |
| 外殼 | 不銹鋼 |
| 內(nèi)襯 | 兩層氧化鋁纖維 |
| 加熱元件 | 電阻絲 |
| 電源供應(yīng) | AC 208-240V，單相，50/60 Hz |
| 溫度 | 1200°C (2 hour) |
| 工作溫度 | 1100 °C |
| 溫度均勻 | ±1°C |
| 加熱和冷卻速率 | ≤15 °C/S |
| 爐管尺寸 | Φ200×1400mm |
| 管材 | 優(yōu)質(zhì)石英管 |
| 加熱區(qū)大小 | Φ250×300mm |
| 恒定溫度， 區(qū)域長度 | 180mm |
| 密封 | 法蘭 |
| 功率 | 8KW |
| 溫度控制 | 30 個可編程段，用于精確控制加熱速率、冷卻速率和停留時間。 內(nèi)置 PID 自動調(diào)諧功能，具有過熱和熱電偶斷路保護(hù)。 過溫保護(hù)和警報允許在沒有服務(wù)人員的情況下進(jìn)行操作。 +/- 1 ºC 溫度精度。 |
| 準(zhǔn)確 | ±1°C |
| 總重量 | 100Kg |
1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
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