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廣電計量檢測集團股份有限公司

旋轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱鄭州科佳電爐有限公司
  • 品       牌
  • 型       號KJ-T1200-S
  • 所  在  地鄭州市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2025/5/12 11:29:34
  • 訪問次數(shù)74
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鄭州科佳電爐有限公司是一家集研制、生產(chǎn)、銷售于一體的綜合性公司,公司位于河南省省會鄭州。主營 箱式電爐、管式電爐、高溫電爐、鐘罩爐、升降爐、真空爐、電爐配件 等。多年以來,堅持以客戶需求為導向,致力于不斷提高產(chǎn)品的質(zhì)量和完善的服務(wù),努力確??蛻魸M意。


   在堅持自主創(chuàng)新的基礎(chǔ)上吸收國內(nèi)外優(yōu)秀產(chǎn)品的*技術(shù),結(jié)合國內(nèi)實際情況研究開發(fā)、生產(chǎn)加熱設(shè)備和實驗儀器。產(chǎn)品廣泛用于大專院校、科研院所,各類企業(yè)等;廣泛用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn)。

 

    鄭州科佳電爐有限公司真誠希望與各界朋友,攜手共進,合作共贏!
箱式電爐、管式電爐、高溫電爐、鐘罩爐、升降爐、真空爐、電爐配件 等
產(chǎn)品用途:PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜
旋轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品信息
產(chǎn)品用途:
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。 該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等
,是科研機構(gòu)和大學實驗室的理想產(chǎn)品。

產(chǎn)品介紹:
該設(shè)備是一款定制的PECVD系統(tǒng),增加了傾斜、旋轉(zhuǎn)功能。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源,高溫管式爐,4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和分子泵機組??捎糜谏L納米或石墨烯材料。

技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 定制旋轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)
滑軌管式爐部分
產(chǎn)品型號 KJ-T1200-S80-DZPECVD-R
爐管尺寸 80*長度1600mm
可選其他直徑Φ50,60,80,100,120,150mm
爐管材質(zhì) 石英管
加熱區(qū) 單溫區(qū),溫區(qū)長度400mm
工作溫度 1100℃
溫度 1200℃
溫控方式 K型熱電偶
控制方式 觸屏控制
控溫精度 ±1℃
溫控保護 具有超溫和斷偶保護功能
升溫速率 0-20ºC/min可調(diào)  ,建議10ºC/min
加熱元件 含鉬電阻絲
工作電壓 AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定制)
加熱功率 3KW
爐膛材料 氧化鋁多晶纖維
法蘭接頭 標配配有不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥
密封系統(tǒng) 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,磁流體密封,氣密性好可實現(xiàn)爐管旋轉(zhuǎn)過程中的高真空。
真空系統(tǒng)部分
主要參數(shù) 采用高真空分子泵組,爐管內(nèi)真空度可達10-3pa
氣路系統(tǒng)部分
名稱 四路質(zhì)量流量計(量程可選)
等離子電源部分
功率范圍 0-500W(連續(xù)可調(diào))
售后服務(wù) 質(zhì)保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等及人為損壞不屬于質(zhì)保范圍)
更多規(guī)格可根據(jù)客戶需求定制
 

 

 

 

 1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運行。
 3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術(shù)講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務(wù),包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術(shù)資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機工具等)。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認證。

 

 

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