環(huán)保在線APP
環(huán)保在線手機站
環(huán)保在線小程序
微信公眾號
北京安力斯環(huán)境科技股份有限公司作者
在半導體領域，超純水是制造過程中重要的原材料，其電導率、微粒含量、TOC、DO等各項水質指標都必須嚴格控制。超純水的生產(chǎn)過程中，微粒子、電導率和TOC等任何一個指標稍有差異，都可能導致半導體元件生產(chǎn)的合格率下降。因此，對超純水處理技術的持續(xù)改進和提升，是半導體制造領域的重要研究方向。
隨著半導體集成度的提高和線寬的縮小，對水質的要求也更為嚴格，未來超純TOC降解技術的發(fā)展方向將主要集中在以下幾個方面。
1.更高效降解技術：隨著半導體技術的不斷進步，對超純水中有機物的限制更加嚴格。在許多高科技和實驗室設備中，總有機碳(TOC)會阻礙高純水的生產(chǎn)。因此，需要開發(fā)更高效、快速的降解技術，以滿足不斷增長的需求；
2.綠色環(huán)保技術：采用環(huán)境友好型技術和材料，減少對環(huán)境的負擔和影響；
3.智能控制技術：利用先進的傳感器、控制器和人工智能技術，實現(xiàn)超純水TOC降解過程的智能控制和優(yōu)化管理；
4.多技術聯(lián)合應用：將不同技術的優(yōu)點結合在一起，形成多技術聯(lián)合應用方案，以提高降解效率和可靠性。
安力斯-微電子超純水TOC降解系統(tǒng)
其中，對超純水TOC(總有機碳)的降解是關鍵環(huán)節(jié)之一。安力斯EX-UPW-TOC系列產(chǎn)品是一款適用于超純水 (UPW) 制備中對總有機碳 (TOC) 進行降解的可靠系統(tǒng)。通過更高185nm輸出強度、實時在線的紫外線強度監(jiān)測、本地/遠程的智能控制系統(tǒng)，實現(xiàn)嚴格、高效的總有機碳 (TOC) 降解。該設備在超純水制備工藝中，可使超純水TOC降至1ppb以下。
可以期待，高效、智能且環(huán)保的TOC降解系統(tǒng)技術將成為未來半導體領域的水處理重要的發(fā)展方向，不斷探索新的技術和方法，以滿足不斷增長的需求和提高水質指標，未來將極大地推動半導體制造技術的發(fā)展。
下一篇：微電解填料使用說明
全年征稿/資訊合作
聯(lián)系郵箱：hbzhan@vip.qq.com
- 版權與免責聲明
- 1、凡本網(wǎng)注明"來源：環(huán)保在線"的所有作品，版權均屬于環(huán)保在線，轉載請必須注明環(huán)保在線，http://www.yixinui.com。違反者本網(wǎng)將追究相關法律責任。
- 2、企業(yè)發(fā)布的公司新聞、技術文章、資料下載等內(nèi)容，如涉及侵權、違規(guī)遭投訴的，一律由發(fā)布企業(yè)自行承擔責任，本網(wǎng)有權刪除內(nèi)容并追溯責任。
- 3、本網(wǎng)轉載并注明自其它來源的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點或證實其內(nèi)容的真實性，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品來源，并自負版權等法律責任。
- 4、如涉及作品內(nèi)容、版權等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關權利。
環(huán)保在線官微
環(huán)保在線APP
環(huán)保在線小程序