Park NX-Hivac通過(guò)為失效分析工程師提供高真空環(huán)境來(lái)提高測(cè)量敏感度以及原子力顯微鏡測(cè)量的可重復(fù)性。與一般環(huán)境或干燥N2條件相比，高真空測(cè)量具有準(zhǔn)確度高、可重復(fù)性好及針尖和樣本損傷低等優(yōu)點(diǎn)，因此用戶(hù)可測(cè)量各種故障分析應(yīng)用中許多信號(hào)響應(yīng)，例如掃描擴(kuò)散電阻顯微術(shù)(SSRM)的摻雜物濃度。Park NX-Hivac使得真空環(huán)境中高精確度和高分辨率測(cè)量的材料科學(xué)研究遠(yuǎn)離氧氣與其它藥劑的影響，在高真空條件下執(zhí)行掃描擴(kuò)散電阻顯微鏡測(cè)量可減少所需的針尖-樣本相互作用力，從而大幅度降低對(duì)樣本和針尖的損傷。
如此可延長(zhǎng)各針尖的使用壽命，使掃描更加低成本和便捷，并通過(guò)提高空間分辨率和信噪比得到更為精確的結(jié)果。因此，利用NX-Hivac進(jìn)行的高真空掃描擴(kuò)散電阻顯微術(shù)測(cè)量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準(zhǔn)確性的明智選擇。
基本技術(shù)參數(shù)
掃描儀 | 光學(xué)顯微鏡 | 樣品臺(tái) |
XY掃描儀：50 μm x 50 μm （100 μm x 100 μm可選） | 物鏡：10x 5M pixel CCD | XY平臺(tái)行程：22 mm x 22mm 樣品大小：50mm x 50mm，厚度20 mm |
物理信息 | 軟件 | 高真空 |
真空室：300mm x 420mm x 320mm | SmartScan：Park AFM操作軟件 XEI: AFM數(shù)據(jù)分析軟件 Hiva Manager:自動(dòng)真空控制軟件 | 真空等級(jí)：小于 1 x 10-5 torr 泵速：5 min內(nèi)達(dá)到10-5 torr |
主要功能
用于失效分析應(yīng)用的高真空掃描
Park NX-Hivac允許故障分析工程師通過(guò)高真空SSRM提高的靈敏和分辨率。高真空掃描能提供比大氣或干燥的N2條件下更高的精度，更好的可重復(fù)性，還能減少針尖和樣品損傷 ，用戶(hù)從而可以在失效分析應(yīng)用中測(cè)量更廣闊范圍的涂料濃度和信號(hào)強(qiáng)度，
高級(jí)的自動(dòng)化特征
用戶(hù)所需的輸入操作簡(jiǎn)單，用戶(hù)可以更快地掃描從而提高實(shí)驗(yàn)室的實(shí)驗(yàn)成果。
應(yīng)用
在二維金屬材料電性能方面的研究
C-AFM in Air vs High Vacuum MoS2
在空氣和真空下MoS2 的AFM 圖
相關(guān)文獻(xiàn)
Jonathan Ludwig et al，”Effects of buried grain boundaries in multilayer MoS2”Journal：Nanotechnology, Volume 30, Number 28.
