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廣電計量檢測集團(tuán)股份有限公司

NX-HDM 全自動缺陷檢測原子力顯微鏡

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海納騰儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號NX-HDM
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/3/11 14:33:15
  • 訪問次數(shù)322
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上海納騰儀器有限公司是一家專注于為微納米科學(xué)領(lǐng)域提供綜合性解決方案,為

全國各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供*的微納米科學(xué)儀器。

目前上海納騰已成為國內(nèi)少數(shù)幾家專業(yè)提供微納米科學(xué)儀器的企業(yè),在微納加工儀器,微納表征儀器,微納儀器耗材,微納加工測試等相關(guān)領(lǐng)域,擁有一支經(jīng)驗豐富、技術(shù)過硬的團(tuán)隊。能夠出色地完成售中、售后的服務(wù)。

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NX-HDM 全自動缺陷檢測原子力顯微鏡
NX-HDM 全自動缺陷檢測原子力顯微鏡 產(chǎn)品信息

對于工程師來說,識別介質(zhì)/平面基底的納米級缺陷的任務(wù)是一個非常耗時的過程,Park NX-HDM原子力顯微鏡系統(tǒng)可以自動缺陷識別,通過與各種光學(xué)儀器的聯(lián)用可以提高缺陷檢測效率,越來越多的行業(yè)需要超平的介質(zhì)和基板來滿足不斷縮小的設(shè)備需求,Park NX-HDM原子力顯微鏡系統(tǒng)具有業(yè)界0.5埃噪音,并將與其真正的非接觸式模式相結(jié)合實現(xiàn)亞埃級表面粗糙度的測試。



基本技術(shù)參數(shù)


200 mm電動XY平臺

電動Z平臺

噪音

行程可達(dá)150mm x 150mm,

2 μm重現(xiàn)性 0.095nm分辨率

25 mm Z行程距離

0.1μm 分辨率 小于1μm 重現(xiàn)性

小于 0.5 μm/s

尺寸&重量

控制箱

設(shè)備需求環(huán)境

880wx 880dx 880h

620kg

600wx 900dx 1330h

170kg

室溫10 ~40

操作18 ~24

濕度 30%~60%


主要功能

1) 快速自動缺陷檢測功能

2) 亞埃級表面粗糙度的測量

3) 有最小的熱漂移,自動分析測量的數(shù)據(jù)

4) 在線監(jiān)測測試過程,


應(yīng)用

自動檢測缺陷



相關(guān)文獻(xiàn)

Foucher; R Therese; Y. Lee; S.-I. Park; S-J. Proc. SPIE 8681,Metrology, Inspection, and Process Control for MicrolithographyXXVII, 868106 (April 18, 2013); doi:10.1117/12.2011463

關(guān)鍵詞:顯微鏡
15168338725
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